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FMS80VR真空步進電機高精度整體臺面平移臺：在FMS80R系列基礎(chǔ)上，我們設(shè)計了FMS80VR系列真空專用位移臺。FMS80VR廣泛適用于真空環(huán)境的應(yīng)用中，在-196 ~ +250℃的高低溫環(huán)境、多種輻射環(huán)境以及真空度10-7~ 10-3Pa環(huán)境中仍然能夠保持高精度運?。

FMSZ真空步進電機升降臺：我們開發(fā)的FMSZ系列真空步進電機升降臺。經(jīng)過特殊設(shè)計，方便與我們的其余產(chǎn)品搭建成多維位移臺。承載高，并可定制其它行程。搭配FMC01系列控制器。

FMSXXY170Z-200-200直線電機龍門雙驅(qū)平臺：我們研發(fā)的?理石龍門雙驅(qū)位移臺，雙向重復(fù)定位精度可達亞微米級。行程、精度、承載均可定制。采用雙驅(qū)結(jié)構(gòu)，同步性更好、承載更高。Y軸可掛載Z軸。結(jié)合CCD等器件，可做成套設(shè)備交付客戶使用。

FMSXY系列步進電機二維掃描臺：我們研發(fā)的?體化步進二維位移臺?？刂破骺蓛?nèi)置。雙向重復(fù)定位精度和微步能力*。結(jié)構(gòu)小巧，易于配套集成?？膳錁?biāo)準(zhǔn)FMC01系列控制器應(yīng)用，也提供SDK給客戶做?次開發(fā)。

FMSXY系列直線電機中空二維掃描平臺：我們開發(fā)的此款?維掃描位移臺，采用了直驅(qū)技術(shù)，速度快，精度高，承載?。非常適合于需要?維運動的設(shè)備和應(yīng)?。配合菲克科技的高性能控制器能實現(xiàn)：位置記憶，位置觸發(fā)，任意平?圖形導(dǎo)?。適合與顯微鏡?起使?，同時提供配套附件，可用于市?上?多數(shù)顯微鏡。

FMSXY系列直線電機二維掃描臺：我們開發(fā)的整體?維位移臺，應(yīng)用于?些特殊應(yīng)?場合。亞微?級精度，?體化設(shè)計，高可靠性，可用于各種需要?維運動的場合。配合FMC04控制器使?，具有微動，高速，低速等特性。

FMSZ-C系列直線電機升降臺：我們的直線電機垂直升降臺，可選擇恒力彈簧配重和氣缸配重兩種版本。特別適用于對尺寸有特殊要求，且對Pitch，Yaw要求嚴(yán)苛的應(yīng)?場合。在高精度檢測、精密實驗室基本建設(shè)等應(yīng)用環(huán)境下，F(xiàn)MSZ-C系列升降臺具有結(jié)構(gòu)簡單且擁有優(yōu)秀的微步能力和位置穩(wěn)定性的特點。

FMSZ65C-08直線電機升降臺：在有限空間中，設(shè)計出高精度的Z軸位移臺，?直是位移控制領(lǐng)域?大難點。針對空間極其有限、精度要求苛刻的特殊應(yīng)用場景，我們推出了FMSZ65C-08升降臺。采用氣缸配重，直線電機+交叉滾柱導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，自適應(yīng)負(fù)載的情況下實現(xiàn)±0.1μm極限雙向重復(fù)定位精度。